PMF半導体シリーズ真空ポンプ

製品名：真空ポンプ
用途：半導体、ロードロック、TET-LCD、タッチパネル、太陽光、コーティング、プラズマプロセス、乾燥プロセス、脱ガス。
特徴：最低消費電力
総消費電力を節約するために適用されたエンジン保存モード
小型、軽量、簡単な取り付け
インストールサイト用のスペースを保存します
半導体光プロセスのための最良の選択
スクリュー真空ポンプの利点
さまざまな真空ポンプの開発は、真空用途の影響を受けています。一般的な真空システムは、クリーン、オイルフリーおよび耐食性の要件を満たすことができません。したがって、近年、ドライバキュームポンプの市場は需要が高まり、真空製品が更新されました。その結果、多数のオイルフリーの真空システムがオイルフリーおよびクリーンな真空システムに置き換えられています。海外でのほとんどすべての大型の真空会社は、さまざまな種類の乾式真空ポンプを製造しています。スクリュー真空ポンプは非接触ドライポンプで、1990年代初頭に登場した理想的なタイプのポンプです。それはそのポンピング速度範囲に基づいています。広く、簡単でコンパクトな構造、摩擦、長寿命、低エネルギー消費、および油汚染のない利点を広く使用することができます。ブースター可変周波数真空ポンプとして使用する。
その優れた性能のために、ドライスクリュー真空ポンプは、ヨーロッパ、アメリカ、日本のマイクロエレクトロニクス、半導体、医薬品、および精密加工産業における真空獲得装置の最初の選択肢となっています。日本は、スクリュー圧縮機に基づいて早く真空ポンプ用のマルチヘッドローターを開発しました。モデルラインと市場に入れる。いくつかのドイツの真空装置企業は、徐々に一定のピッチと可変ピッチのロータープロファイルを開発し、ローターと体の冷却に関する多くの研究を行っています。中国企業はまた、2008年にねじ真空ポンプ製造を量産しており、これは化学的および製薬産業によく適用されています。